2024-06-22 05:22:42

证券之星消息，根据企查查数据显示南大光电（300346）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“固态源气化装置”，专利申请号为CN202323366497.2，授权日为2024年6月21日。专利摘要：本实用新型公开了一种固态源气化装置，包括瓶体及封装于瓶体上的盖板，所述盖板上形成有出气口，所述瓶体内包括多个上下分布且相互独立的容置腔体，每个容置腔体内设有一个或多个堆叠设置的托盘，每个容置腔体分别与所述出气口相连通。本实用新型的固态源气化装置，能够均匀消耗其内的顶部固态源和底部固态源，提高蒸气压的稳定性，延长固态源使用周期，改善薄膜沉积质量。