2024-07-03 04:41:31

证券之星消息，根据企查查数据显示长川科技（300604）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“对准装置”，专利申请号为CN202322859702.2，授权日为2024年7月2日。专利摘要：本实用新型涉及一种对准装置，其包括基座、软质吸附件及柔性膜，其中，基座设有多个第一气路；软质吸附件设置于基座，软质吸附件设有多个间隔布置的吸附孔，各个吸附孔与各个第一气路一一对应连通；柔性膜设置于软质吸附件背离基座的一侧面，并设有与各个吸附孔一一对应连通的多个通孔。上述对准装置中，基座的第一气路、吸附孔及通孔相贯通形成了负压气路，可通过向负压气路通入负压气体以吸附晶圆，使得晶圆能够稳定可靠地吸附固定于软质吸